1、真空泵的工作壓強應該滿(mǎn)足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少(shǎo)要5×10-6mmHg。通(tōng)常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數量級。

　　2、正确(què)地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強範圍(wéi)，如：擴散泵(bèng)為10-3~10-7mmHg，在(zài)這樣寬壓強範圍内，泵的抽速随壓強而(ér)變化，其穩定的工作壓強(qiáng)範(fàn)圍(wéi)為5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個範圍之内，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如钛升(shēng)華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好。

　　3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中産生的全部氣體量。

　　4、正确地組合真空泵。由于真空泵(bèng)有選擇性抽氣(qì)，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵(bèng)組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如钛升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極(jí)濺(jiàn)射離子泵）對氩有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會使真空裝置(zhì)得到(dào)較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣(qì)壓下工作，需要預真(zhēn)空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把(bǎ)泵組合起來使用。

　　5、真空(kōng)設備對油(yóu)污染的要求。若設備嚴格(gé)要求無油時，應該(gāi)選各種(zhǒng)無油泵，如(rú)：水環(huán)泵、分子篩吸(xī)附泵、濺射(shè)離子泵、低(dī)溫泵等。如果要求不嚴格，可以選(xuǎn)擇有油泵，加上一些防油污染措施(shī)，如加冷阱、障闆、擋油阱等，也能達到(dào)清潔真空要求。

　　6、了解被抽氣體成分(fèn)，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣(qì)體成分，針對被抽(chōu)氣體(tǐ)選擇相應的泵。如(rú)果氣體中含(hán)有蒸(zhēng)氣、顆(kē)粒、及腐蝕性(xìng)氣體，應該考慮在(zài)泵的進氣口(kǒu)管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

　　7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何(hé)。如果環境(jìng)不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

　　8、真空(kōng)泵工(gōng)作(zuò)時産生的(de)振(zhèn)動對工藝過程(chéng)及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者(zhě)采取防(fáng)振動措施。

　　9、真空泵的(de)價格、運轉及維(wéi)修費用。

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